강사
가나자와 공업 대학 바이오 화학과 응용 화학과 교수 쿠사노 에이지씨

취지
스퍼터링 법은 공업 적으로 널리 사용되고 있는 박막 제작법이다. 스퍼터링 법의 특징은 기판 온도를 올릴 수없이 물성이 우수한 박막을 얻을 수 있다는 것을 들 수 있다. 이것은 스퍼터링 법에 있어서 대상에서 발생한 입자가 큰 에너지를 가지기 때문이다. 그러나 동시 에이 스퍼터 입자가 높은 에너지가 박막에 큰 응력을 잔류시키는 단점도 야기하게 된다. 스퍼터링 법에 의해 증착된 박막에서 문제가 되는 박막 박리의 대부분이 잔류 응력에 의한 것이다. 응력의 잔류와 그에 따른 박막의 기판으로부터 박리 공정 및 장치의 신뢰성을 확보하는 데 큰 문제이며, 스퍼터링법에 의한 박막 생산에서 반드시 발생하는 문제라고 할 수 있다.
본 강연에서는 스퍼터링 기술 기반에서 박막 증착 장치 및 응력 잔류 및 접착 성 향상과의 관계를 이해 한 후, 생산 또는 기술 개발의 현장에서 발생하는 응력 잔류 및 박막의 박리를 중심으로 문제에 대응하는 힘을 몸에 익히는 것을 목표로하고 스퍼터링 공정의 특징 및 스퍼터링 공정에 의해 얻어지는 박막 물성의 특징을 설명한다. 생산 또는 기술 개발의 현장에서 활약하는 엔지니어에게 필수적인 강의이다.

강연 내용
1. 스퍼터링 법의 기초
 　1.1 스퍼터링 현상
 　1.2 스퍼터링 속도
 　1.3 스퍼터링된 입자가 가지는 에너지
 　1.4 사마 화 (열중 성화)
 　1.5 스퍼터링 된 입자의 대상에 다시 퇴적
 　1.6 증착된 박막의 에너지 입자에 의한 재 스퍼터링
2. 스퍼터링 법에 의해 제작된 박막의 특성
 　2.1 스퍼터링 박막 구조 모델과 입자가 가지는 에너지의 막 구조에 미치는 영향
 　2.2 금속 박막의 기판 온도 · 방전 압력의 막 구조에 미치는 영향
 　2.3 산화물 박막의 기판 온도 방전 압력의 막 구조에 미치는 영향
3. 다양한 스퍼터링 법의 기본과 그 특징
 　3.1 직류 마그네트론 스퍼터링 법
 　3.2 고주파 마그네트론 스퍼터링 법
 　3.3 반응성 스퍼터링 법
 　3.4 펄스 스퍼터링 법
4. 스퍼터링 박막의 내부 응력
 　4.1 내부 응력은
 　4.2 내부 응력의 발생 메카니즘
 　4.3 내부 응력 평가 방법
 　4.4 박막의 구조 및 내부 응력
 　4.5 스퍼터링 박막 내부 응력의 실례
 　4.6 응력의 억제 방법
5. 스퍼터링 박막의 막 박리 및 내부 응력
 　5.1 박막의 부착력은
 　5.2 부착 메커니즘
 　5.3 접착 성 및 전체 응력
 　5.4 스퍼터링 박막의 박리기구
6. 스퍼터링 박막의 접착 성 평가 및 개선
 　6.1 박막의 접착 성 평가 방법
 　6.2 박막 접착 성 측정의 실례
 　6.3 보드 경도의 부착력 측정 결과에 미치는 영향
 　6.4 접착 성 향상에 대한 지침
7. 결론
 　7.1 스퍼터링 공정에서 입자 에너지 응력 및 접착 성
 　7.2 참고가 되는 책 소개
□ 질의 응답 · 명함 교환 □

개최일시 : 2020년 8월 31일(월) 10 : 30 ~ 16 : 30
개최장소 : 도쿄·시나가와 구 오이 마치 키유리아은 6F 중회의실  회장 지도
수강료 (세금포함) : 49,500엔